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感應耦合電漿式離子蝕刻機ICP-400iP (III-V)
儀器說明

一、 廠牌與型號:

 SAMCO RIE-400ip for Group III-V only

二、機台特性

本系統為「非等向性乾式蝕刻機」,具有下列特性:

(1)  具有能夠蝕刻GaN具高準值性(>85°),蝕刻率> 0.3 μm/min.

(2)  滿足破片與最大4吋的III-V族晶圓蝕刻需求

三、注意事項

(1)  蝕刻材料:GaNInAlGaNInPGaN(除Ni外不允許含其他金屬材料

(2)  使用氣體:Cl2BCl3SiCl4Ar

(3)  遮罩材料:光阻、SiO2NiSi3N4

四、服務項目及收費標準

   

設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

感應耦合電漿式離子蝕刻機(ICP-400iP(III-V)

委託代工

代工費

4,000/

6,000/

8,000/

自行操作

開機費(1hr)

1,600/

暫不開放

暫不開放

超時費

400/刻鐘

暫不開放

暫不開放

 

五、代工申請表

代工申請單下載

代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐,送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後,送件至中心106室 林小姐

六、機台負責人
聯絡人
負責人員

黃如君  博士  

mail:jchuang@mx.nthu.edu.tw


Tel

03 - 5742489

或校內分機 42489


 

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