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清華實驗室無塵區黃光室清洗站槽(2座)
儀器說明

一、 廠牌與型號:


 

二、重要規格

需小於6吋WAFER(包含6吋WAFER)

三、注意事項:

若實驗內容含有金屬或者丙銅(Aceton)請在站槽的左半邊操作(禁止使用右半邊)右方為黃光製程使用(兩座的左半邊皆為金屬操作區,右半邊為黃光製程操作區)

禁止操作酸鹼

黃光室為共用空間,請勿放置私人實驗用品,如未經申請放置化學藥品或私人實驗用品,沒收並收取相關費用

使用後之化學廢液,請回收於化學藥品回收櫃

 

四、操作手冊

下載黃光室清洗槽手冊

下載旋塗機手冊

下載加熱器及排風罩手冊

 

五、負責人員
聯絡人
負責助理

宋明穎、張瀞文  

mail:sungmy@mx.nthu.edu.tw

          changcw@mx.nthu.edu.tw


Tel

03 - 5742290,5742298

或校內分機 42290,42298


 

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