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雙面光罩對準機(Double Side Aligner)
儀器說明

一、 廠牌與型號:

 Electronic Visions Co./ EV620 mask aligner

二、用途

1. silicon top to bottom side alignment
2. silicon to glass alignment before anodic bonding

三、重要規格

晶圓規格:矽晶圓四吋或六吋,厚度介於0.1∼2 mm,嚴格禁止破片放入
光罩規格:五吋或七吋的mask,厚度小於4 mm
對準範圍:X, Y, Z: +/- 5 mm;Theta: +/- 3.5度
對準精度:正面對準0.5μm;雙面對準:1μm
結合對準:silicon/glass 0.5μm; silicon/silicon 1μm
曝光模式:soft contact, hard contact, vacuum contact
目鏡移動範圍:

  • Top side: X: 30-130 mm; Y: +70/-4 mm; Z: +/-5 mm
  • Bottom side: X: 30-100 mm; Y: +/-12 mm; Z: +/- 5 mm

汞燈光源:

四、服務項目及收費標準

   

設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

雙面光罩對準機(Double Side Aligner

委託代工

開機費(2hr)

3,500/

5,000/

6,500/

超過開機時間

加收費

1,500/

2,500/

3,000/

自行操作

開機費(2hr)

1,600/

2,400/

3,200/

超過2hr

15分鐘加收

200/刻鐘

300/刻鐘

400/刻鐘

 

五、操作手冊

六、代工申請表

代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐,送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後,送件至中心106室 林小姐

七、機台即時訊息

負責人員
聯絡人
負責助理

吳若穎 小姐  

mail:wury@mx.nthu.edu.tw


Tel

03 - 5742291,5742292

或校內分機 42291,42292


 

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