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奈微與材料科技中心
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EVG520HE奈米壓印系統(EVG520HE)
儀器說明

一、 廠牌與型號:

EVG 520 HE

二、用途

以熱壓的壓印方式進行圖形轉移

三、重要規格

壓印模式:Thermal curing
4 inch wafer或破片
油壓式加壓:1000 ~ 15000 Nt
熱壓加熱範圍:RT~350 ℃

注意事項:墊片及Blue tape 等製程耗材需自備或洽中心購買

 

四、服務項目及收費標準

    

設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

EVG520HE奈米壓印系統

委託代工

開機費(2hr)

3,000/

4,500/

6,000/

超過開機時間

加收費

1,500/

2,000/

3,000/

自行操作

開機費(2hr)

1,600/

2,400/

3,200/

超過2hr

15分鐘加收

200元/刻鐘

300元/刻鐘

400元/刻鐘

光阻等製程耗材須自備或洽中心助理

五、操作手冊

六、代工申請表

代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐,送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後,送件至中心106室 林小姐

七、機台即時訊息

負責人員
聯絡人
負責助理

張瀞文 小姐  

mail:changcw@mx.nthu.edu.tw


Tel

03 - 5742291,5742292

或校內分機 42291,42292


 

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