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多探針真空變溫電性量測系統

利用溫控平台及液態氮冷卻系統進行奈米元件/奈米材料電性量測室溫電性量測、低溫電性量測。

儀器說明

一、 次系統名稱:

(1) FESEM:場發射掃瞄式電子顯微鏡
(2) Nano-Manipulator System:奈米探針量測系統
(3) L-N2 Cryostat:液態氮冷卻平台系統
(4) I–V Measurement System:電流電壓量測系統

二、儀器廠牌型號

場發射掃瞄式電子顯微鏡
【廠牌型號】:JSM-7000F, JAPAN ELECTRON OPTICS LABORTARY CO., LTD. (JEOL)

奈米探針量測系統
【廠牌型號】:Four Needles Experimental Probing Device, Kammrath & Wiess GmbH

液態氮冷卻平台系統
【廠牌型號】:Liquid Nitrogen Cryostat, Kammrath & Wiess GmbH

電流電壓量測系統
【廠牌型號】:Keithley Model 4200-SCS

三、設備重要規格


影像解析度:< 3 nm (加速電壓15 kV)
探針移動範圍:X = 15 mm, Y = 15 mm, Z = 10 mm
探針最佳移動解析度:X=2 nm, Y = 2nm, Z = 2 nm
冷卻平台可控制溫度範圍:80 K–298 K
電流-電壓量測系統之電壓可調範圍:2 mV–200 V
電流-電壓量測系統之信號量測單元 (SMU) 頻道數:4X
電流-電壓量測系統之電流解析能力(含信號線):< 500 fA
(Only for SMU 1 & SUM 2 with preamplifiers)

四、服務項目及收費標準
設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

多探針真空變溫電性量測系統

Multi-Probe Nano-Electronics Measurement System

室溫元件量測

開關機費

1,000/

1,500/

2,000/

設備

使用費

500/

(自備探針)

600/

(自備探針)

1,000/

(自備探針)

低溫元件量測

開關機費 1,000/ 1,500/ 2,000/

設備

使用費

500元/時

(自備探針及氮氣費用另計)

600元/時

(自備探針及氮氣費用另計)

1,000元/時

(自備探針及氮氣費用另計)

五、代工申請表

 

 

代工申請單下載

 
 
六、聯絡人:
聯絡人
負責人員 劉恩惠博士
Tel 03-5715131分機42288
E-mail              ehliu@mx.nthu.edu.tw
聯絡人
負責人員 李薇妮博士
Tel (03)5715131分機31032
E-mail wnlee@mx.nthu.edu.tw
儀器室地點國立清華大學 教育館 126實驗室

 

 

 

 

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