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掃描式電子顯微鏡SEM840A+EDS

掃描式電子顯微鏡位於教育館,二次電子影像掃描功能可供使用者對材料表面形貌進行檢測,背向散射電子影像掃描功能則可讓使用者瞭解材料金相的空間分佈;透過能量色散型X射線螢光分析,能在獲取影相時分析材料的成份;不導電或導電性較差的試片在使用蒸鍍機進行鍍金後即可避免電荷累積而獲致較佳影像解析。

儀器說明

一、次系統名稱:

(1) SEM:掃描式電鏡
(2) Energy-dispersive X-ray spectroscope:能量色散型X射線螢光分析裝置
(3) auto sputter coater:自動蒸鍍機

二、 儀器廠牌型號:
掃瞄式電子顯微鏡

【廠牌型號】:JSM-840A, JAPAN ELECTRON OPTICS LABORTARY CO., LTD. (JEOL)

能量色散型X射線螢光分析裝置(EDS)

【廠牌型號】:Oxford-model 6209, Oxford Instruments

自動蒸鍍機

【廠牌型號】:PELCO SC-7 auto sputter coater, PELCO Inc.

三、重要規格

影像解析度:二次電子影像:3.5 nm(加速電壓35 kV,工作距離8 mm)
背向散射電子影像:10 nm(加速電壓35 kV,工作距離10 mm)
放大倍率:10倍至50000倍
探針電流可調範圍:10-12至10-5安培
加速電壓可調範圍:5至20 kV
工作距離:8, 15, 25, 與39 mm
載物台移動範圍:X = 50 mm, Y = 70 mm, Z = 40 mm
傾斜角度:-5°至90°
蒸鍍機靶材:金靶與碳靶

四、服務項目及收費標準
   

設備名稱 / 服務項目

四校

其他學界

業界

掃描式電子顯微鏡SEM840A+EDS

委託代工

代工費

1,500/

2,000/

2,500/

自行操作

設備

使用費

950/

1,425/

1,900/

五、聯絡人:
聯絡人
負責教授 陳瑞凱教授
Tel 03-5742569 校內分機 42569
E-mail skchen@mx.nthu.edu.tw
聯絡人
負責人員 鍾天海先生
Tel 03-5162091 校內分機 62091
E-mail thchung@mx.nthu.edu.tw
儀器室地點國立清華大學 清華實驗室

 

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