奈微與材料科技中心
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分類清單
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光阻去除系統（Plasma Cleaning System）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
日本SAMCO，Model PC-300
二、用途
PR etch／去除光阻 三、重要規格
Wafer size：破片、4" wafer (max 12 piece) ~ 8" wafer (max 3 piece) 四、服務項目及收費標準
優惠方案： 一般會員（預付5萬元）可同時享有：自行操作5折 & 委託代工8折。 巨量會員（預付50萬元）可同時享有：自行操作3折 & 委託代工6.5折。 【註1】欲加入本中心最新優惠方案者，須無任何欠款。 【註2】預付款項無使用期限，惟款項用盡時，即恢復原價計費。 【註3】預付款項，專款專用；折扣不含耗材及門禁費。 【註4】超過最低使用時數後，每15分鐘計費一次。
五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐 七、機台即時訊息
八、負責人員
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