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光阻去除系統（Plasma Cleaning System）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
日本SAMCO，Model PC-300
二、用途
PR etch／去除光阻 三、重要規格
Wafer size：破片、4" wafer (max 12 piece) ~ 8" wafer (max 3 piece) 四、服務項目及收費標準
備註：本機台由日本SAMCO提供，本中心管理。 五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心106室 林小姐 七、機台即時訊息
負責人員
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