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奈微與材料科技中心
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電子鎗真空蒸鍍系統(E-Gun System)
儀器說明

一、 廠牌與型號:

ULVAC

二、用途

電子槍蒸鍍Al, Ti, Au, Pt, Ni, Cu, Cr等金屬膜

三、重要規格
  • Power supply: Maximum 300 W
  • Substrate heating: 0~300 ℃
  • Operating pressure: < 8*10-6 torr
  • Crucible size: 10 ㏄
注意事項:
  • 請詳細註明欲鍍膜之厚度及種類
  • 4 吋晶圓(最多12片) 或 6吋晶圓(最多3片),若欲鍍破片請洽中心助理
  • 機台單次run鍍膜厚度最大為8000Å且run與run間須讓Power supply休息30 min
  • 操作時間自破真空開始至試片取出,並完成真空抽氣為止
  • 本中心提供Al, Ti, Ni, Cu, Cr等靶材及坩鍋(一般金屬靶材使用費已含於儀器使用費中),其它貴重金屬請自備
  • 本中心可代為蒸鍍黃金、白金等貴重金屬,點這裡查看金屬收費標準

四、服務項目及收費標準
 
設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

電子鎗真空蒸鍍系統

E-Gun System

委託代工

開機費(2hr)

3,000/

4,000/

6,000/

超過開機時間加收費用

1,500/

2,000/

3,000/

自行操作

開機費

(2hr)

8,00/

1,600/

2,400/

超過

開機時間

加收費用

100元/刻鐘

200/刻鐘

300/刻鐘

加收費用

靶材

費用

點這裡查看金屬收費標準

五、操作手冊

下載手冊

六、代工申請表

代工申請單下載

代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐,送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後,送件至中心106室 林小姐

七、機台即時訊息

八、負責人員
聯絡人
負責助理

郭文鳳 小姐  

mail:kuowenfeng@hotmail.com


Tel

03 - 5742291,5742292

或校內分機 42291,42292


 

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