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高分子化學氣相沈積系統(Polymer Deposition System (PDS))
儀器說明

一、 廠牌與型號:

PDS2010

二、用途

Parylene coating

三、重要規格

Parylene C、N、D

可接受4"、6" wafer及破片

容量最大可放4"wafer 9片(三層)

四、服務項目及收費標準

   

設備名稱 / 服務項目 清大 其他學界 業界

高分子化學氣相沈積系統(Polymer Deposition System (PDS)

委託代工

開機費(8hr)

5,000/

7,500/

10,000/

超過開機時間

加收費

700/

1,000/

1,400/

自行操作

開機費(8hr)

4,000/

5,600/

8,000/

超過8hr

15分鐘加收

125/刻鐘

175/刻鐘

250/刻鐘

五、操作手冊

下載手冊

六、代工申請表

代工申請單下載

代工交件、取件統一窗口為106室 林瑟蘭 小姐,送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後,送件至中心106室 林小姐

七、機台即時訊息

八、負責人員
聯絡人
負責助理

吳若穎 小姐  

mail:wury@mx.nthu.edu.tw


Tel

03 - 5742291,5742292

或校內分機 42291,42292


 

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